大電力パルススパッタ...

大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるパルス放電条件の最適化

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大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるパルス放電条件の最適化

国立国会図書館請求記号
Z16-2163
国立国会図書館書誌ID
028935439
資料種別
記事
著者
福江 紘幸ほか
出版者
岡山 : 岡山理科大学技術科学研究所
出版年
2018
資料形態
掲載誌名
岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology / 岡山理科大学技術科学研究所 編 (36):2018
掲載ページ
p.1-9
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
福江 紘幸
中谷 達行
岡野 忠之
黒岩 雅英
並列タイトル等
Optimization of Pulse Discharge Conditions in Diamond-Like Carbon Films Deposition using High Power Impulse Magnetron Sputtering
タイトル(掲載誌)
岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology / 岡山理科大学技術科学研究所 編
巻号年月日等(掲載誌)
(36):2018
掲載号
36
掲載ページ
1-9
掲載年月日(W3CDTF)
2018