X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 堤 博貴上島 雄高
- 並列タイトル等
- The Design and Development of Inch Worm Type Micro Positioning Stage with X-Z Moving Mechanism including Piezo Actuators
- タイトル（掲載誌）
- マイクロメカトロニクス = Micromechatronics
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 62(218):2018.6
- 掲載巻
- 62
- 掲載号
- 218
- 掲載ページ
- 23-30