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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大崎 圭祐友岡 祥太郎Tihomir Cuzovic池畑 隆佐藤 直幸
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Dynamic range control of sheet resistance of metal oxide film by plasma synthesis
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. PPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / プラズマ・パルスパワー研究会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2018(31・33・35-42):2018.8.10
- 掲載巻
- 2018
- 掲載号
- 31・33・35-42