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雑誌電気学会研究会資料 PPP
巻号2018(31・33・35-42):2018.8.10
記事対向発散磁界下誘導結...

対向発散磁界下誘導結合型RFプラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度のモンテカルロ解析 (プラズマ・パルスパワー研究会・プラズマ・パルスパワー一般)

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対向発散磁界下誘導結合型RFプラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度のモンテカルロ解析

(プラズマ・パルスパワー研究会・プラズマ・パルスパワー一般)

国立国会図書館請求記号
Z43-229
国立国会図書館書誌ID
029229315
資料種別
記事
著者
中島 克博ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2018-08-10
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会研究会資料. PPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / プラズマ・パルスパワー研究会 [編] 2018(31・33・35-42):2018.8.10
掲載ページ
p.21-26
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紙

資料種別
記事
タイトル
対向発散磁界下誘導結合型RFプラズマ中の電子エネルギー利得と電子周方向速度のモンテカルロ解析
著者・編者
中島 克博
菅原 広剛
シリーズタイトル
プラズマ・パルスパワー研究会・プラズマ・パルスパワー一般
著者標目
中島 克博
菅原 広剛
並列タイトル等
Monte Carlo analyses of electron energy gain and azimuthal velocity in an inductively coupled RF plasma under confronting divergent magnetic fields
タイトル（掲載誌）
電気学会研究会資料. PPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / プラズマ・パルスパワー研究会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）
2018(31・33・35-42):2018.8.10
掲載巻
2018
掲載号
31・33・35-42