微細コーン型金バンプの形状・機械的特性に及ぼすナノ粒子生成条件の影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 橋野 健林 瑛瑛仲川 博青柳 昌宏菊地 克弥
- 並列タイトル等
- Investigation of Mechanical Properties of Au Nano-Particle Deposited Films and Cone-Shaped Bumps by Gas Evaporation Method. Effect of Nano Particle Production Conditions on Shape and Mechanical Properties of Cone-Shaped Au Micro-Bumps
- タイトル（掲載誌）
- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 28:2018.9.6・7
- 掲載巻
- 28
- 掲載ページ
- 65-68
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2018-09