1つの圧電ムーニー型アクチュエータを用いた2軸共振マイクロステージ
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤村 康浩塚本 貴城田中 秀治
- 並列タイトル等
- 2-axis Resonant Microstage Using Single Piezoelectric Moonie-type Microactuator
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 138(11):2018.11
- 掲載巻
- 138
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 516-522