室温ZnO ALDの表面反応観察 (電子部品・材料)

室温ZnO ALDの表面反応観察

(電子部品・材料)

国立国会図書館請求記号: Z16-940
国立国会図書館書誌ID: 029385917

資料種別: 記事

著者: 吉田一樹ほか

出版者: 東京 : 電子情報通信学会

出版年: 2018-11

資料形態: 紙

掲載誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(276):2018.11.1・2

掲載ページ: p.15-19

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紙

資料種別: 記事
タイトル: 室温ZnO ALDの表面反応観察
著者・編者: 吉田一樹
齋藤健太郎
三浦正範
鹿又健作
廣瀬文彦
シリーズタイトル: 電子部品・材料
著者標目: 吉田一樹
齋藤健太郎
三浦正範
鹿又健作
廣瀬文彦
タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）: 118(276):2018.11.1・2
掲載巻: 118
掲載号: 276
掲載ページ: 15-19
掲載年月日（W3CDTF）: 2018-11
ISSN（掲載誌）: 0913-5685
ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 原子層堆積法
プラズマ励起加湿アルゴン
ZnO
赤外吸収分光法
ジメチル亜鉛
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: CPM2018-44
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-940
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 029385917
http://id.ndl.go.jp/bib/029385917
整理区分コード: 632

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