スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討 (電子部品・材料)

スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討

(電子部品・材料)

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資料種別: 記事
タイトル: スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討
著者・編者: 清水英彦
岩野春男
川上貴浩
福嶋康夫
永田向太郎
坪井望
シリーズタイトル: 電子部品・材料
著者標目: 清水英彦
岩野春男
川上貴浩
福嶋康夫
永田向太郎
坪井望
並列タイトル等: Consideration of Bilayer Film with Zn and AZO Deposited by Sputtering Method
タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）: 118(276):2018.11.1・2
掲載巻: 118
掲載号: 276
掲載ページ: 21-24
掲載年月日（W3CDTF）: 2018-11
ISSN（掲載誌）: 0913-5685
ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: AZO
亜鉛
酸素
マグネトロンスパッタ法
Zinc
Oxygen
Magnetron Sputtering
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: CPM2018-45
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-940
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 029385943
http://id.ndl.go.jp/bib/029385943
整理区分コード: 632