スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討
• 著者・編者: 清水 英彦; 岩野 春男; 川上 貴浩; 福嶋 康夫; 永田 向太郎; 坪井 望
• シリーズタイトル: マグネティックス研究会 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般
• 著者標目: 清水 英彦; 岩野 春男; 川上 貴浩; 福嶋 康夫; 永田 向太郎; 坪井 望
• 並列タイトル等: Consideration of Bilayer Film with Zn and AZO Deposited by Sputtering Method
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. MAG = The papers of technical meeting on magnetics, IEE Japan / マグネティックス研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2018(98-118):2018.11.1・2
• 掲載巻: 2018
• 掲載号: 98-118
• 掲載ページ: 21-24
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2018-11
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: AZO; 亜鉛; 酸素; マグネトロンスパッタ法; Zinc; Oxygen; Magnetron Sputtering
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: MAG-18-102
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-234
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029390956; http://id.ndl.go.jp/bib/029390956
• 整理区分コード: 632