半導体量産リソグラフィ用レーザー誘起SnプラズマによるEUV光生成

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
デジタル
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 半導体量産リソグラフィ用レーザー誘起SnプラズマによるEUV光生成
著者・編者: 溝口計
児玉健
柳田達哉
斎藤隆志
著者標目: 溝口計
児玉健
柳田達哉
斎藤隆志
並列タイトル等: EUV light generation using laser induced Sn plasma for semiconductor high volume manufacturing
タイトル（掲載誌）: 応用物理
巻号年月日等（掲載誌）: 88(1)=998:2019.1
掲載巻: 88
掲載号: 1
掲載通号: 998
掲載ページ: 41-45
掲載年月日（W3CDTF）: 2019-01
ISSN（掲載誌）: 0369-8009
ISSN-L（掲載誌）: 0369-8009
出版事項（掲載誌）: 東京 : 応用物理学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM17
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-243
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 029425836
http://id.ndl.go.jp/bib/029425836
整理区分コード: 632