樹脂コーティングワイヤを用いたマルチワイヤソーによるSiCの高精度加工
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 諏訪部 仁溝田 勇飛石川 憲一
- 並列タイトル等
- Study on high-precision slicing of SiC using a multi-wire saw with resin-coated wire
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 63(2)=438:2019.2
- 掲載巻
- 63
- 掲載号
- 2
- 掲載通号
- 438