真空装置における放出ガスの質量分析 (特集 質量分析計の基礎と応用)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岡野 誠八幡 行記桜井 誠
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Mass Spectrometry Analysis of Outgases from a Vacuum Equipment
- タイトル（掲載誌）
- 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 62(5):2019.5
- 掲載巻
- 62
- 掲載号
- 5