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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 平野 拓一水野 麻弥李 寧井上 剛曽我部 正嗣岡田 健一
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Dielectric Constant Change of Silicon Substrate after H/He Ion Irradiation for Loss Reduction
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 119(42):2019.5.17
- 掲載巻
- 119
- 掲載号
- 42