原子層物質のCVD成長技術 (特集 新機能物質・材料創製研究の最前線)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- Shengnan Wang谷保 芳孝
- シリーズタイトル
- タイトル(掲載誌)
- NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 31(8)=365:2019.8
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 8
- 掲載通号
- 365