DCスパッタAlNテンプレートを用いたUVC-LEDの進展 (レーザ・量子エレクトロニクス)

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DCスパッタAlNテンプレートを用いたUVC-LEDの進展

(レーザ・量子エレクトロニクス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
030133487
資料種別
記事
著者
最上 耀介ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2019-11
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(304):2019.11.21・22
掲載ページ
p.85-88
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
最上 耀介
大澤 篤史
尾崎 一人
谷岡 千丈
前岡 淳史
糸数 雄吏
桑葉 俊輔
定 昌史
前田 哲利
矢口 裕之
平山 秀樹
並列タイトル等
Progress of UVC-LEDs using DC sputter AlN templates
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
119(304):2019.11.21・22
掲載巻
119
掲載号
304