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c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長 (情報ディスプレイ)

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c面サファイアおよびSi(111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長

(情報ディスプレイ)

国立国会図書館請求記号
Z16-1010
国立国会図書館書誌ID
030296289
資料種別
記事
著者
名嘉眞 朝泰ほか
出版者
東京 : 映像情報メディア学会
出版年
2020-01
資料形態
掲載誌名
映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 44(1):2020.1
掲載ページ
p.1-4
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
名嘉眞 朝泰
松下 一貴
渡邊 泰良
小南 裕子
原 和彦
シリーズタイトル
並列タイトル等
CVD growth of h-BN thin films on c-plane sapphire and Si (111) substrates
タイトル(掲載誌)
映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
巻号年月日等(掲載誌)
44(1):2020.1
掲載巻
44
掲載号
1