イオンクロマトグラフィーを用いた真空装置の清浄性評価法の確立

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資料種別: 記事
タイトル: イオンクロマトグラフィーを用いた真空装置の清浄性評価法の確立
著者・編者: 渡部純
大津舟
稲吉さかえ
著者標目: 渡部純
大津舟
稲吉さかえ
並列タイトル等: Establishment of Cleanliness Evaluation Method Using Ion Chromatography of Vacuum Equipment
タイトル（掲載誌）: 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 63(3):2020.3
掲載巻: 63
掲載号: 3
掲載ページ: 134-138
掲載年月日（W3CDTF）: 2020-03
ISSN（掲載誌）: 2433-5835
ISSN-L（掲載誌）: 2433-5835
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本表面科学会 ; 2018-
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: vacuum equipment
cleanliness
ion chromatography
NDLC: ZN15
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-474
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 030308081
http://id.ndl.go.jp/bib/030308081
整理区分コード: 632