プラズマCVD法にて...

プラズマCVD法にて成膜されるDLC膜の付き回り性に関する検討

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プラズマCVD法にて成膜されるDLC膜の付き回り性に関する検討

国立国会図書館請求記号
Z14-1552
国立国会図書館書誌ID
030315821
資料種別
記事
著者
福田 匠
出版者
宇部 : 山口県産業技術センター
出版年
2019-11
資料形態
掲載誌名
山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編 (31):2019.11
掲載ページ
p.16-19
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
福田 匠
著者標目
並列タイトル等
Study of the Coverage of DLC Coating Prepared by Plasma CVD
タイトル(掲載誌)
山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編
巻号年月日等(掲載誌)
(31):2019.11
掲載号
31
掲載ページ
16-19
掲載年月日(W3CDTF)
2019-11