高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用
• 著者・編者: 丹羽 英二
• シリーズタイトル: 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会・鉄道、センサ技術一般
• 著者標目: 丹羽 英二
• 並列タイトル等: Use of Transverse Sensitivity on Cr-N Thin Films for High Sensitive Strain Sensors
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan / 交通・電気鉄道研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2020(45-48・50-54・56・57):2020.3.2
• 掲載巻: 2020
• 掲載号: 45-48・50-54・56・57
• 掲載ページ: 21-26
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2020-03-02
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ひずみセンサ; Cr-N薄膜; 横感度; ダイアフラム; 周方向; 力センサ; strain sensor; Cr-N thin film; transverse sensitivity; diaphragm; circumferential direction; force sensor
• NDLC: ZN21
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: TER-20-50
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-238
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 030378118; http://id.ndl.go.jp/bib/030378118
• 整理区分コード: 632