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雑誌電気学会研究会資料 MSS
巻号2020(1-4・6-10・12・13):2020.3.2
記事高感度ひずみセンサ用...

高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用 (交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

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高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用

(交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

国立国会図書館請求記号
Z74-C94
国立国会図書館書誌ID
030378246
資料種別
記事
著者
丹羽 英二
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2020-03-02
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会研究会資料. MSS 2020(1-4・6-10・12・13):2020.3.2
掲載ページ
p.21-26
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紙

資料種別
記事
タイトル
高感度ひずみセンサ用Cr-N薄膜の横感度利用
著者・編者
丹羽 英二
シリーズタイトル
交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会・鉄道、センサ技術一般
著者標目
丹羽 英二
並列タイトル等
Use of Transverse Sensitivity on Cr-N Thin Films for High Sensitive Strain Sensors
タイトル（掲載誌）
電気学会研究会資料. MSS
巻号年月日等（掲載誌）
2020(1-4・6-10・12・13):2020.3.2
掲載巻
2020
掲載号
1-4・6-10・12・13