1MHz空中超音波マ...

1MHz空中超音波マイクロアレイセンサの開発 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

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1MHz空中超音波マイクロアレイセンサの開発

(マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

国立国会図書館請求記号
Z74-C94
国立国会図書館書誌ID
030594328
資料種別
記事
著者
田中 恒久ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2020-07
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. MSS 2020(20-45):2020.7.6・7
掲載ページ
p.1-6
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
田中 恒久
中山 健吾
村上 修一
並列タイトル等
Development of Micro Array Sensor for aerial ultrasonic of 1 MHz
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. MSS
巻号年月日等(掲載誌)
2020(20-45):2020.7.6・7
掲載巻
2020
掲載号
20-45