ヘリウムイオン顕微鏡を用いた低ダメージ観察・評価とsub-10 nm微細加工技術
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小川 真一
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Helium ion microscopy for low damage characterization and sub-10 nm nano-fabrication
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 89(11)=1020:2020.11
- 掲載巻
- 89
- 掲載号
- 11
- 掲載通号
- 1020