対向ターゲットスパッタ法による高品質な太陽電池用アモルファスシリコン表面パッシベーション膜の開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 宮島 晋介白取 優大
- 並列タイトル等
- High quality amorphous silicon surface passivation layer for silicon solar cells deposited by facing target sputtering
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 89(12)=1021:2020.12
- 掲載巻
- 89
- 掲載号
- 12
- 掲載通号
- 1021