静電気力顕微鏡のセンサにおける静電気力検出感度によるセンサ先端-測定面距離自動制御
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 西口 義和東尾 順平上原 利夫芦澤 好人中川 活二
- 並列タイトル等
- Automatic Distance Controlling System between Sensor Tip and Sample under Test for Electrostatic Force Microscopy
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 141(6):2021.6
- 掲載巻
- 141
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 373-378