ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 恩田 尚隆小塚 貴暁安部 隆一色 眞誠留野 暁寒川 雅之
- 並列タイトル等
- Fabrication of Heater-Integrated MEMS Tactile Sensor for Evaluation of Warm and Cold Sensation by Touching Glass
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 141(10):2021.10
- 掲載巻
- 141
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 343-348