ナノインプリントリソグラフィーを用いたナノ構造体造形 (特集 微細構造の作製技術とその応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 伊東 駿也中川 勝
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication of Nanostructures by Nanoimprint Lithography
- タイトル（掲載誌）
- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 66(10):2021
- 掲載巻
- 66
- 掲載号
- 10