ITO/AgPd/ITO積層膜を用いた高性能透明薄膜ヒーターの開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大城 智義柏木 誠小口 有希石井 寛至野口 雄司重里 有三
- 並列タイトル等
- ITO/AgPd/ITO Laminated Films for High-performance Transparent Thin Film Heaters
- タイトル（掲載誌）
- 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(2):2022.2
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 84-89