微分位相コントラストSTEMを用いたGaN/AlGaN/InGaNマルチヘテロ接合の局所電場観察 (特集 高機能化合物半導体エレクトロニクス技術と将来システムへの応用)
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 遠山 慧子関 岳人蟹谷 裕也冨谷 茂隆幾原 雄一柴田 直哉
- 並列タイトル等
- The Observation of Local Electric Fields in GaN/AlGaN/InGaN Multi-heterostructures by Differential Phase Contrast STEM
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 142(3):2022.3
- 掲載巻
- 142
- 掲載号
- 3