高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発 (特集分子科学)

高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発

(特集分子科学)

掲載誌名: Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan = 質量分析 70(1)=331:2022.3

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発
著者・編者: 實方真臣
塚本恵三
美齊津文典
シリーズタイトル: 特集分子科学
著者標目: 實方真臣
塚本恵三
美齊津文典
並列タイトル等: Development of a Plasma Diagnostic Method for High Power Pulsed Magnetron Sputtering Using a Reflectron-Type Time-of-Flight Mass Spectrometer
タイトル（掲載誌）: Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan = 質量分析
巻号年月日等（掲載誌）: 70(1)=331:2022.3
掲載巻: 70
掲載号: 1
掲載通号: 331
掲載ページ: 30-35
掲載年月日（W3CDTF）: 2022-03
ISSN（掲載誌）: 1340-8097
ISSN-L（掲載誌）: 1340-8097
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本質量分析学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP4
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-213
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 032022285
http://id.ndl.go.jp/bib/032022285
整理区分コード: 632