単結晶ダイヤモンド工具による硬脆材料のUVレーザ援用微細加工

掲載誌名: 神奈川大学工学研究 = Technology reports, Kanagawa University / 神奈川大学工学研究所編 (5):2022.3

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資料種別: 記事
タイトル: 単結晶ダイヤモンド工具による硬脆材料のUVレーザ援用微細加工
著者・編者: 由井明紀
著者標目: 由井明紀
並列タイトル等: Micro Cutting of Brittle Material using Monocrystalline Diamond Tool Assisted by UV-laser
タイトル（掲載誌）: 神奈川大学工学研究 = Technology reports, Kanagawa University / 神奈川大学工学研究所編
巻号年月日等（掲載誌）: (5):2022.3
掲載号: 5
掲載ページ: 60-64
掲載年月日（W3CDTF）: 2022-03
ISSN（掲載誌）: 2433-5169
ISSN-L（掲載誌）: 2433-5169
出版事項（掲載誌）: 横浜 : 神奈川大学工学研究所
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM2
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z74-K517
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 032074966
http://id.ndl.go.jp/bib/032074966
整理区分コード: 632