超常磁性Co基グラニ...

超常磁性Co基グラニュラー薄膜の磁気特性の成膜速度依存性と新規反応性パルスDCスパッタリング成膜法の有用性の検討

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超常磁性Co基グラニュラー薄膜の磁気特性の成膜速度依存性と新規反応性パルスDCスパッタリング成膜法の有用性の検討

国立国会図書館請求記号
Z17-B32
国立国会図書館書誌ID
032119393
資料種別
記事
著者
小林 拓海ほか
出版者
秋田 : 日本素材物性学会
出版年
2022-03
資料形態
掲載誌名
日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan 32(1・2)=47:2022.3
掲載ページ
p.22-27
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
小林 拓海
中田 尭人
江川 元太
吉村 哲
並列タイトル等
Dependence of magnetic properties in superparamagnetic Co-granular thin films on deposition rate and effectiveness of a new pulsed DC reactive sputtering method for film fabrication with high deposition rate
タイトル(掲載誌)
日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
32(1・2)=47:2022.3
掲載巻
32
掲載号
1・2
掲載通号
47