雑誌電気学会研究会資料 EPP
巻号2022(60-65):2022.5.20
記事RFプラズマへのパル...

RFプラズマへのパルス磁場印加によるイオンビーム生成の数値解析 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般)

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RFプラズマへのパルス磁場印加によるイオンビーム生成の数値解析

(放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般)

国立国会図書館請求記号
Z43-224
国立国会図書館書誌ID
032217527
資料種別
記事
著者
松澤 匠ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2022-05-20
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2022(60-65):2022.5.20
掲載ページ
p.21-23
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紙

資料種別
記事
タイトル
RFプラズマへのパルス磁場印加によるイオンビーム生成の数値解析
著者・編者
松澤 匠
竹崎 太智
伊藤 弘昭
シリーズタイトル
放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般
著者標目
松澤 匠
竹崎 太智
伊藤 弘昭
並列タイトル等
Numerical study on generation of ion beam by applying pulsed magnetic field to RF plasma
タイトル（掲載誌）
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]
巻号年月日等（掲載誌）
2022(60-65):2022.5.20
掲載巻
2022
掲載号
60-65