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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 西村 涼汰吉木 宏之
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Diamond-Like Carbon Films by Atmospheric-Pressure Micro Plasmas
- タイトル（掲載誌）
- プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 30(1):2022.6
- 掲載巻
- 30
- 掲載号
- 1