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雑誌日経エレクトロニクス : sources of innovation
巻号1247号 2023年1月
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官民学連携で半導体製造会社 IBM技術導入で2nm世代国産化狙う : 「24年末にEUV装置」「量産までに5兆円」

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官民学連携で半導体製造会社 IBM技術導入で2nm世代国産化狙う : 「24年末にEUV装置」「量産までに5兆円」

国立国会図書館請求記号
Z16-751
国立国会図書館書誌ID
032592601
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 日経BP
出版年
2023-01
資料形態
紙
掲載誌名
日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation (1247):2023.1
掲載ページ
p.14-17
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紙

資料種別
記事
タイトル
官民学連携で半導体製造会社 IBM技術導入で2nm世代国産化狙う : 「24年末にEUV装置」「量産までに5兆円」
タイトル（掲載誌）
日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation
巻号年月日等（掲載誌）
(1247):2023.1
掲載号
1247
掲載ページ
14-17
掲載年月日（W3CDTF）
2023-01
ISSN（掲載誌）
0385-1680
ISSN-L（掲載誌）
0385-1680
出版事項（掲載誌）
東京 : 日経BP