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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 黒河 周平檜山 浩國和田 雄高高東 智佳子
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- The cleaning effect of high-pressure jet on soft CMP pad
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 67(2)=486:2023.2
- 掲載巻
- 67
- 掲載号
- 2