Gravure & Interview 精密工学の最前線 次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウエハの開発 : Orbray株式会社

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Gravure & Interview 精密工学の最前線 次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウエハの開発 : Orbray株式会社

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
032877701
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2023-05
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 89(5)=1061:2023.5
掲載ページ
p.355-358
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資料種別
記事
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
89(5)=1061:2023.5
掲載巻
89
掲載号
5
掲載通号
1061
掲載ページ
355-358
掲載年月日(W3CDTF)
2023-05
ISSN(掲載誌)
0912-0289