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自己吸収プラズマ光源を用いた反応性プラズマの吸収分光計測 : 水素プラズマ中の原子状ラジカルの挙動解析

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自己吸収プラズマ光源を用いた反応性プラズマの吸収分光計測 : 水素プラズマ中の原子状ラジカルの挙動解析

国立国会図書館請求記号
Z14-B424
国立国会図書館書誌ID
032907762
資料種別
記事
著者
竹田 圭吾
出版者
名古屋 : 名城大学総合研究所
出版年
2022
資料形態
掲載誌名
名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University / 名城大学総合研究所 編 (27):2022
掲載ページ
p.5-7
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
竹田 圭吾
著者標目
並列タイトル等
Absorption spectroscopy of reactive plasma using self-absorbing plasma light source : Diagnostics of behavior of atomic radical in hydrogen gas plasma
タイトル(掲載誌)
名城大学総合研究所紀要 = Bulletin of Research Institute of Meijo University / 名城大学総合研究所 編
巻号年月日等(掲載誌)
(27):2022
掲載号
27
掲載ページ
5-7
掲載年月日(W3CDTF)
2022