赤外線分光を用いたラ...

赤外線分光を用いたランタン系高誘電率ゲート絶縁膜の歪み評価

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赤外線分光を用いたランタン系高誘電率ゲート絶縁膜の歪み評価

国立国会図書館請求記号
Z17-870
国立国会図書館書誌ID
032941605
資料種別
記事
著者
角嶋 邦之
出版者
八王子 : ジャスコレポート社
出版年
2023-05
資料形態
掲載誌名
Jasco report 65(1):2023.5
掲載ページ
p.18-21
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
角嶋 邦之
著者標目
並列タイトル等
Strain evaluation of La-based gate dielectrics by infrared spectroscopic analysis
タイトル(掲載誌)
Jasco report
巻号年月日等(掲載誌)
65(1):2023.5
掲載巻
65
掲載号
1
掲載ページ
18-21