CH₄とSi(CH₃)₄による原料ガス組成を変化させたSi-DLCの特性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 澤田 将哉嵯峨山 諒西本 明生
- 並列タイトル等
- Characteristics of Si-DLC Coated by Changing the Source Gas Composition of CH₄ and Si(CH₃)₄
- タイトル（掲載誌）
- 熱処理 = Journal of the Japan Society for Heat Treatment : 材料と表面の改質 / 日本熱処理技術協会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 63(4):2023.8
- 掲載巻
- 63
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 199-204