ガス種により異なるM...

ガス種により異なるMEMS半導体ガスセンサの過渡特性に及ぼす湿度の影響 (マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

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ガス種により異なるMEMS半導体ガスセンサの過渡特性に及ぼす湿度の影響

(マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

国立国会図書館請求記号
Z74-C94
国立国会図書館書誌ID
033054686
資料種別
記事
著者
東 国広ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2023-08-18
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. MSS 2023(44-50):2023.8.18
掲載ページ
p.1-5
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
東 国広
吉河 武文
大倉 裕貴
岩田 達哉
並列タイトル等
The Influence of Humidity on the Transient Characteristics of MEMS Semiconductor Gas Sensors Varying with Gas Species
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. MSS
巻号年月日等(掲載誌)
2023(44-50):2023.8.18
掲載巻
2023
掲載号
44-50