Hf[0.5]Zr[0.5]O₂絶縁膜上へ溶液塗布成膜したTIPS-ペンタセン薄膜の構造評価 (電子材料研究会 次世代デバイス応用へ向けたエコシステム材料の合成・物性評価)

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Hf[0.5]Zr[0.5]O₂絶縁膜上へ溶液塗布成膜したTIPS-ペンタセン薄膜の構造評価

(電子材料研究会 次世代デバイス応用へ向けたエコシステム材料の合成・物性評価)

国立国会図書館請求記号
Z43-226
国立国会図書館書誌ID
033207720
資料種別
記事
著者
河野 裕太ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2023-11
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編] 2023(1-13・15・17-31):2023.11.22・23
掲載ページ
p.23-25
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
河野 裕太
北村 太慈
山本 英資
小池 一歩
丸山 伸伍
廣芝 伸哉
並列タイトル等
Structures of TPS-pentacene thin films deposited on Hf[0.5]Zr[0.5]O₂ insulating surface
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2023(1-13・15・17-31):2023.11.22・23
掲載巻
2023
掲載号
1-13・15・17-31