テラヘルツエリプソメトリーを用いた高精度半導体評価技術 (テラヘルツ波技術の進展と社会実装への期待)

テラヘルツエリプソメトリーを用いた高精度半導体評価技術

(テラヘルツ波技術の進展と社会実装への期待)

掲載誌名: 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 52(11):2023.11

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資料種別: 記事
タイトル: テラヘルツエリプソメトリーを用いた高精度半導体評価技術
著者・編者: 岩本敏志
Verdad C. Agulto
加藤康作
中嶋誠
シリーズタイトル: テラヘルツ波技術の進展と社会実装への期待
著者標目: 岩本敏志
Verdad C. Agulto
加藤康作
中嶋誠
並列タイトル等: High-Precision Semiconductor Characterization Using Terahertz Ellipsometry
タイトル（掲載誌）: 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
巻号年月日等（掲載誌）: 52(11):2023.11
掲載巻: 52
掲載号: 11
掲載ページ: 468-473
掲載年月日（W3CDTF）: 2023-11
ISSN（掲載誌）: 0389-6625
ISSN-L（掲載誌）: 0389-6625
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本光学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-269
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 033218718
http://id.ndl.go.jp/bib/033218718
整理区分コード: 632