円筒リソグラフィによ...

円筒リソグラフィによるチューブ型多軸フォースセンサ機構の形成 (マグネティックス マイクロマシン・センサシステム合同研究会 バイオ・マイクロシステム 磁気センサ・各種センサシステム及びアクチューエータの基礎と応用)

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円筒リソグラフィによるチューブ型多軸フォースセンサ機構の形成

(マグネティックス マイクロマシン・センサシステム合同研究会 バイオ・マイクロシステム 磁気センサ・各種センサシステム及びアクチューエータの基礎と応用)

国立国会図書館請求記号
Z43-234
国立国会図書館書誌ID
033262896
資料種別
記事
著者
滝口 創太ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2023-12
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. MAG = The papers of technical meeting on magnetics, IEE Japan / マグネティックス研究会 [編] 2023(114-131):2023.12.20・21
掲載ページ
p.1-3
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
滝口 創太
峯田 貴
並列タイトル等
Fabrication of tubular multi-axis force sensor mechanism using cylindrical lithography
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. MAG = The papers of technical meeting on magnetics, IEE Japan / マグネティックス研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2023(114-131):2023.12.20・21
掲載巻
2023
掲載号
114-131