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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐藤 健太郎峯田 貴
- 並列タイトル等
- Fabrication of MEMS 3-axis force and hardness sensor using SMA sheet
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. MAG = The papers of technical meeting on magnetics, IEE Japan / マグネティックス研究会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2023(114-131):2023.12.20・21
- 掲載巻
- 2023
- 掲載号
- 114-131