Cr-NおよびFe-Pd薄膜のひずみ・温度同時計測触覚センサへの応用 (特集 ヒト感性デバイスのための機能性材料と応用技術)

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Cr-NおよびFe-Pd薄膜のひずみ・温度同時計測触覚センサへの応用

(特集 ヒト感性デバイスのための機能性材料と応用技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
033713399
資料種別
記事
著者
佐々木 祥弘ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2024-09
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 144(9):2024.9
掲載ページ
p.271-281
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
佐々木 祥弘
丹羽 英二
並列タイトル等
Application of Cr-N and Fe-Pd Thin Films to Tactile Sensors for Simultaneous Strain and Temperature Measurement
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
144(9):2024.9
掲載巻
144
掲載号
9