第一原理計算とAIを融合したニューラルネットワークポテンシャルによる化学機械研磨シミュレーションの新展開 (特集 化学機械研磨とトライボロジー)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 平川 皓朗奥野 好成
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- New Developments in Chemical Mechanical Polishing Simulation through a Neural Network Potential Integrating First-Principles Calculations and Artificial Intelligence
- タイトル（掲載誌）
- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 70(5):2025
- 掲載巻
- 70
- 掲載号
- 5