Observation of Membrane Sticking and Other Defects in Silicon-on-Nothing Structure

• 資料種別: 記事
• タイトル: Observation of Membrane Sticking and Other Defects in Silicon-on-Nothing Structure
• 著者・編者: Zhengnan Tang; Andrea Vergara; Shuji Tanaka
• シリーズタイトル: マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会 マイクロマシン・センサシステム,ケミカル・バイオセンサ,バイオ・マイクロシステムとそれらのプロセス技術および一般
• 著者標目: Zhengnan Tang; Andrea Vergara; Shuji Tanaka
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. CHS = The papers of technical meeting on "chemical sensor", IEE Japan
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2025(33-46):2025.5.29・30
• 掲載巻: 2025
• 掲載号: 33-46
• 掲載ページ: 5-7
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2025-05
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: micro electro mechanical system; silicon-on-nothing; hydrogen annealing; defects
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: CHS-25-034
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C93
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034208783; http://id.ndl.go.jp/bib/034208783
• 整理区分コード: 632