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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 長野 透也木下 萌香水戸部 龍介安部 隆丹羽 英二寒川 雅之
- 並列タイトル等
- Optimal planar shape for miniaturization of cantilevers for tactile sensors using Cr-N thin film lateral sensitivity
- タイトル（掲載誌）
- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 41:2024.11.25-28
- 掲載巻
- 41
- 掲載ページ
- 6p
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2024-11
- 出版事項（掲載誌）
- [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
- 出版地（国名コード）
- JP
- 本文の言語コード
- jpn
- NDLC
- 対象利用者
- 一般
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- YH247-299
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
- 書誌ID（NDLBibID）
- 034239602
- 整理区分コード
- 632