すれすれ入射X線回折を用いた薄膜の構造解析

• 資料種別: 記事
• タイトル: すれすれ入射X線回折を用いた薄膜の構造解析
• 著者・編者: 森岡 仁
• シリーズタイトル: 小特集 薄膜の物性等に関する評価技術
• 著者標目: 森岡 仁
• 並列タイトル等: Structural Characterization of Thin Films using Grazing Incidence X-ray Diffraction
• タイトル（掲載誌）: 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
• 巻号年月日等（掲載誌）: 76(10):2025.10
• 掲載巻: 76
• 掲載号: 10
• 掲載ページ: 439-444
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2025-10
• ISSN（掲載誌）: 0915-1869
• ISSN-L（掲載誌）: 0915-1869
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 表面技術協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: X-ray Diffraction; Grazing Incidence; Penetration Depth; Density Profile; Residual Stress
• NDLC: ZP41
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-291
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034407803; http://id.ndl.go.jp/bib/034407803
• 整理区分コード: 632