TSVが本流となる条件--3次元積層技術の普及シナリオ

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TSVが本流となる条件--3次元積層技術の普及シナリオ

国立国会図書館請求記号
Z14-1088
国立国会図書館書誌ID
10246169
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 日経BP社
出版年
2009-04
資料形態
掲載誌名
Nikkei microdevices : デバイス・イノベーションをリードする (286) 2009.4
掲載ページ
p.17~37
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書誌情報

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資料種別
記事
並列タイトル等
What brings TSV into the main stream
タイトル(掲載誌)
Nikkei microdevices : デバイス・イノベーションをリードする
巻号年月日等(掲載誌)
(286) 2009.4
掲載号
286
掲載ページ
17~37
掲載年月日(W3CDTF)
2009-04
ISSN(掲載誌)
1349-4619
ISSN-L(掲載誌)
1349-4619